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GEN2000® MBE 系統(tǒng)提供吞吐量、更長(zhǎng)的活動(dòng)周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無(wú)線通信設(shè)備大批量生產(chǎn)以及需要以低擁有成本生產(chǎn) 6 英寸的新興應(yīng)用的理想選擇。

Veeco 的 GEN200® MBE 系統(tǒng)是當(dāng)今市場(chǎng)上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設(shè)備的生長(zhǎng)中提供吞吐量、長(zhǎng)時(shí)間的加工周期和出色的晶圓質(zhì)量。

Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設(shè)計(jì)可針對(duì) III-V 族和新興材料進(jìn)行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計(jì)技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)理想的實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠遷移。

屢獲殊榮的新型 GENxcel™ 系統(tǒng)是在 GENxplor 的基礎(chǔ)上進(jìn)行的擴(kuò)展，GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以來(lái)暢銷的 MBE 系統(tǒng)，與 GENxplor 系統(tǒng)的 3“ 功能相比，在單個(gè) 4 英寸襯底上具有高質(zhì)量的外延生長(zhǎng)。GENxcel 系統(tǒng)具有易于使用的手動(dòng)傳輸系統(tǒng)、12 個(gè)源端口集成到單框架設(shè)計(jì)中的現(xiàn)代電子設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)最大的實(shí)驗(yàn)室占地面積效率。

GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺(tái)中經(jīng)濟(jì)、最靈活的簇狀工具系統(tǒng)，允許多達(dá)三個(gè)可配置的、特定于材料的生長(zhǎng)模塊。這使得系統(tǒng)利用率高，允許多個(gè)研究人員同時(shí)使用該系統(tǒng)，并在無(wú)人值守的情況下進(jìn)行生長(zhǎng)和校準(zhǔn)。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合，是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素，無(wú)論應(yīng)用是什么。

GENxplor® R&D MBE系統(tǒng)獲得了化合物半導(dǎo)體制造的CSindustry獎(jiǎng)，采用Veeco成熟的3英寸生長(zhǎng)室設(shè)計(jì)，并具工藝靈活性，非常適合UV LED、高效太陽(yáng)能電池和高溫超導(dǎo)體等新興技術(shù)的材料研究。其高效的單框架設(shè)計(jì)將所有真空硬件與機(jī)載電子設(shè)備相結(jié)合，使其比其他 MBE 系統(tǒng)小 40%，從而節(jié)省寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間。